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Zentrum für Mikrostrukturtechnik (MST)
Zentrum für Mikrostrukturtechnik (MST)
Im Zentrum für Mikrostrukturtechnik werden hochwertige Mikrostrukturen, -systeme und -optiken entwickelt, produziert und weltweit vermarktet. Ebenfalls wird die Serienproduktion von kundenspezifischen Komponenten und Systemen angeboten.
Zu den wichtigsten Produktbereichen des Zentrums gehören die Tintenstrahldrucktechnik, Mikrospektrometer, allgemeine Kanal- und Düsenstrukturen, Maskentechnik sowie Mikrooptiken und –linsen, Excimerlaser und Zerstäubertechnik.
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