Dortmunder MST-Seminar

»Silizium in der AVT – Neue Perspektiven durch neue Struktur«

Prof. Dr.-Ing. Martin Hoffmann, TU Ilmenau

Silizium als mechanisches Material ist seit den 80er Jahren ein etablierter Werkstoff für die Mikrosystemtechnik mit vielen herausragenden Eigenschaften. Die Fortschritte in der Systemintegration führen jedoch immer öfter zu neuen, hybriden Lösungen, bei denen Silizium mit anderen Materialien wie Polymeren oder Keramiken gefügt werden muss. Aber auch „kalte“ Verbindungstechniken von Siliziumbauteilen werden immer wichtiger. Nanoskalig strukturierte Siliziumoberflächen zeigen völlig neue Wege der Verbindungstechnik auf, die z.B. für die kleberlose Verbindung
von Silizium mit Silizium eingesetzt werden können („Nano-Klettverschluss“). Sie erlauben aber auch die direkte Verbindung von z. B. Polymerschläuchen mit Si-Mikrofluidik-Chips oder die Herstellung neuartiger Si/Keramik-Hybridsubstrate. Anhand von ersten Applikationen soll dieses neue Feld der Aufbau- und Verbindungstechnik (AVT) beleuchtet sowie die Verfahren zur nanoskaligen Si-Strukturierung vorgestellt werden.

Prof. Dr.-Ing. Martin Hoffmann hat Anfang 2006 die Leitung des Fachgebietes Mikromechanische Systeme der Fakultät für Maschinenbau der TU Ilmenau übernommen. Seit Juli 2007 ist er dort Direktor des fachübergreifenden wissenschaftlichen Instituts für Mikro- und Nanotechnologien (IMN) sowie des Zentrums für Mikro- und Nanotechnologien (ZMN). Von 1992 bis 2002 war er wiss. Mitarbeiter der Universität Dortmund, bevor er in die Industrie wechselte.